**引言：**

半导体制造环境对污染物的控制提出了极高的要求。为了应对这一挑战，将尖端尘埃粒子检测技术融入半导体生产工艺中，采用高灵敏度粒子计数器，为环境监测提供全面的解决方案，是确保产品质量和提高产量的关键。

**TSI的卓越历史：**

TSI公司在提供高灵敏度粒子计数器方面拥有近60年的丰富经验，其历史之悠久，超越了所有同行业的公司。TSI的仪器在全球范围内被国家级标准实验室所采用，这些实验室对仪器的准确性、重复性和可靠性有着极高的要求。

**TSI AeroTrak® 9110型粒子计数器：**

TSI AeroTrak® 9110型便携式粒子计数器能够精确测量0.100μm至10.0μm粒径范围内的粒子，同时检测多达八个通道的粒子数据。其1.0 CFM (28.3 L/min)的流速，完全满足半导体洁净室应用的严格标准。

**专利技术与维护成本：**

该型号计数器采用的专利氦氖(HeNe)激光技术，显著提高了信噪比，同时保持了极低的维护成本。9110型完全符合ISO-14644-1标准，是I级和II级洁净室检测的理想选择。它适用于洁净室微粒子监测、过程监控和过滤器测试等多种应用场景。

**报告生成与系统集成：**

9110型粒子计数器能够通过打印机和TrakProTM LiteSecure下载软件生成符合ISO 14644-1标准的合格或不合格报告。它既可以作为独立的单机粒子计数器使用，也可以集成到在线粒子监测系统中。此外，TSI还为这款仪器提供了长达四年的激光保修服务，这在市场上是独一无二的。

**洁净度的重要性：**

洁净度对半导体制造工艺具有重大影响，包括洁净室的合规性、最终产品的质量等。实现无污染的半导体制造对于减少缺陷、降低良率损失以及提高设备可靠性至关重要。

通过采用TSI AeroTrak® 9110型粒子计数器，半导体制造商能够确保其生产环境的超净状态，为生产高质量的半导体产品提供坚实的保障。