在当今的工业生产和消费生活中，液体中粒子的污染对产品质量和人体健康都有着不可忽视的影响。因此，对液体中粒子的精确控制变得尤为重要。

RION/日本理音液体粒子计数器

RION/日本理音液体粒子计数器能够检测从纯净水到氢氟酸等多种液体，广泛应用于控制化学品中的粒子。这些计数器不仅适用于半导体制程中的专用材料（如SOG和光阻材料）、超纯水以及清洗用化学剂（例如碱、有机溶剂和氢氟酸），还能检测化学机械抛光中使用的大粒径研磨液，支持在线和离线测试方法。

在半导体、硬盘驱动器和平板显示器的生产过程中，纯水和化学液的使用非常广泛。为了实现电子设备的微型化及大规模集成电路在质量和产量上的改进，对液体中粒子的严格控制变得尤为关键。

在半导体生产线中，粒径要求降至小于0.1微米；而在硬盘驱动器生产中，磁头清洗的粒径要求为0.01微米。在平板显示器生产中，对大屏幕和高质量电视机及监视器的要求极高，不允许在1到2平方米的玻璃基板上出现任何点缺陷。因此，为了确保微细加工技术和高性能电子设备生产中的改良效果，对周边粒子的控制至关重要。液体粒子计数器在这一过程中扮演了监测型定性设备的重要角色。

使用液体粒子计数器，可以有效地实施粒子检测，阐明各种要素及吞吐量和产量之间的关系，还能有效解决问题区域。将粒子计数器直接连接在清洗槽的供应线及实施不停监测的再循环线上，能确定出粒子的波动，科学地改进生产线。

产品规格

以下是RION/日本理音液体粒子计数器的几款产品规格：

KS-42A/AF

• 光学系统: 散射光学系统

• 镭射光源: 半导体镭射二极管，强度200mW，波长830nm

• 光源等级: Class 1, IEC 60825-1 (2001)

• 接收器: 光检知器

• 流速: 10ml/min

• 侦测粒径: 0.1um~0.5um(可选10ch)(可改装至1.0um)

• 校正方式: 使用乳胶聚苯乙烯标准粒子 (PSL) particles

• 最高浓度: 1,200pcs/ml(误差±5%)

• 可承受压力: 300kPa

• 漏液警报: 连接Relay

• 尺寸: 125(H)*240(W)*251(D) mm

• 重量: 约4kg

KS-42B/BF

• 光学系统: 散射光学系统

• 镭射光源: 半导体镭射二极管，强度40mW，波长780nm

• 光源等级: Class 1, IEC 60825-1 (2001)

• 接收器: 光检知器

• 流速: 10ml/min

• 侦测粒径: 0.2um~2.0um(可选10ch)

• 校正方式: 使用乳胶聚苯乙烯标准粒子 (PSL) particles

• 最高浓度: 1,200pcs/ml(误差±5%)

• 可承受压力: 300kPa

• 漏液警报: 连接Relay

• 尺寸: 125(H)*240(W)*151(D) mm

• 重量: 约3.2kg

KS-42C

• 光学系统: 散射光学系统

• 镭射光源: 半导体镭射二极管，强度5mW，波长780nm

• 光源等级: Class 1, IEC 60825-1 (2001)

• 接收器: 光检知器

• 流速: 10ml/min

• 侦测粒径: 0.5um~20um(可选10ch)

• 校正方式: 使用乳胶聚苯乙烯标准粒子 (PSL) particles

• 最高浓度: 1,200pcs/ml(误差±5%)

• 可承受压力: 300kPa

• 漏液警报: 连接Relay

• 尺寸: 125(H)*240(W)*151(D) mm

• 重量: 约3kg

KS-19F

• 光学系统: 散射光学系统

• 镭射光源: 固态镭射，强度800mW，波长532nm

• 光源等级: Class 1, IEC 60825-1 (2001)

• 接收器: 多通道光检知器

• 流速: 10ml/min

• 侦测粒径: 0.03um~0.13um(可选10ch)

• 校正方式: 使用乳胶聚苯乙烯标准粒子 (PSL) particles

• 建议浓度: 40,000pcs/ml(误差±10%)

• 可承受压力: 300kPa

• 漏液警报: 连接Relay

• 尺寸: 170(H)*487(W)*310(D) mm

• 重量: 约13.5kg

KS-20F

• 光学系统: 散射光学系统

• 镭射光源: 固态镭射，强度1.5W，波长532nm

• 光源等级: Class 1, IEC 60825-1 (2001)

• 接收器: 多通道光检知器

• 流速: 10ml/min

• 侦测粒径: 0.02um~0.08um(可选7ch)

• 建议浓度: 50,000pcs/ml(误差10%以内)

• 可承受压力: 300kPa

• 漏液警报: 连接Relay

• 尺寸: 230(H)*550(W)*330(D) mm

• 重量: 约17Kg

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