RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

特点优势

可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

技术参数

光源 镭射二极管(波长:790nm,额定输出:4.5mW)

接触样品的部件材料 毛细管：人造石英；取样管：硼硅玻璃、PTFE；

取样泵：Kel-F(PCTFE) 、PTFE; 管路接头：PFA、PTFE、PCTFE、Perflo；

流量 25ml/min（10 ml/分钟为工厂定制）

测量范围 可任意选自1-20个通道 ,  1.3~100μm （0.1μm的间隔）

最多粒子数量 10000颗/ml（误差值低于10%）

电源 100V-240V AC,50/60Hz 80VA

尺寸.重量 366(H) X 360(W) X 236 (D) mm,大约:10kg