RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

特点优势

测量范围 2通道;   ≥0.2μm; ≥0.5μm

最多粒子数量 1200颗/ml（误差值低于5%）

技术参数

光源 镭射二极管(波长:780nm,额定输出:40mW)

部分材料 KL-28B:人造石英,PFA、PTEF

KS-16F:蓝宝石,PFA、PTEF (可测氢氟酸)

流量 测试流量10ml/分钟

测量范围 2通道 ; ≥0.2μm; ≥0.5μm

最多粒子数量 1200颗/ml（误差值低于5%）

电源 由KE-28B供应，100V AC,23VA

尺寸.重量 70(H)  X  85(W) X 118 (D) mm,大约:0.6kg

控制器 KE-28B（专用于KL-28B/KL-28BF）