RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

特点优势

光源 激光二极管泵/固态晶振镭射(波长:532nm,额定输出:500mW)

镭射材料 蓝宝石,PFA

流量 10ml/分钟

粒径范围(4通道) ≥0.05µm,≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm标配

可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.05~0.2µm

粒子数量 15000颗/ml

电源 DC12V(由KE-40B1供应)

尺寸.重量 147×272×442mm,大约:12kg