RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。
特点优势
粒径通道范围:10个通道
数字显示:计数(最多显示8位)
测试时间:10秒~2小时,手动
技术参数
可连接型号:KS-18F/FX,KS-42A/42AF,KS-42B/42BF,KS-42C,KS-42D,KS-41A,KS-41B
粒径通道范围:10个通道
数字显示:计数(最多显示8位)
测试时间:10秒~2小时,手动
电源:AC 100~240V,50/60Hz
尺寸.重量:约:140×240×146mm,大约3kg