RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

技术参数

光源镭射二极管(波长:830nm,额定输出:200mW)

镭射材料 KS-42A 人造石英PFA

KS-42AF 蓝宝石PFA(可测氢氟酸)

流量 10ml/分钟

粒径范围(5通道);  ≥0.1μm;  ≥0.15μm ;≥0.2μm;  ≥0.3μm;  ≥0.5μm    (可选配≥1.0μm)

可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.1,0.13~0.5μm

粒子数量 1200颗/ml

电源 DC12V(由KE-40B1供应)

尺寸.重量 125（H）X 240(W) X 151(D) mm,大约:4kg